Henry, Frédéric. 2011, October 25. Caractérisation de décharges magnétron Ar/NH3 et Ar/H2/N2 pour la synthèse de films minces de nitrure de silicium. Faculté des Sciences – Chimie, Bruxelles: Université libre de Bruxelles. http://hdl.handle.net/2013/ULB-DIPOT:oai:dipot.ulb.ac.be:2013/209837.
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