Batan, Abdelkrim. 2006. Dépôt de films minces de silicium et de nitrures de silicium par pulvérisation cathodique réactive magnétron. Faculté des sciences, Bruxelles: Université libre de Bruxelles. http://hdl.handle.net/2013/ULB-DIPOT:oai:dipot.ulb.ac.be:2013/210791.

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